ALTATECH, filiale de Soitec, lance un système d’inspection pour les substrats utilisés sur les marchés à forte croissance des LED et des semi-conducteurs
Altatech, filiale de Soitec, lance Orion Lightspeed™, système permettant identifier à l’échelle nanoscopique la taille et l’emplacement de défauts à l’intérieur des matériaux semi-conducteurs composés et des substrats transparents. Le système aide à assurer le contrôle qualité des substrats avancés utilisés dans plusieurs marchés à forte croissance, dont ceux de la fabrication de LED à haute luminosité, des semi-conducteurs de puissance et des circuits intégrés 3D.
Orion Lightspeed améliore les performances et optimise le coût de la détection de défauts à l’intérieur des matériaux des catégories III-V, des substrats transparents et des couches minces de circuits sur les substrats transparents. L’inspection détermine la taille et la position exactes des défauts avec une résolution inférieure à 100 nm. La méthode permet une mesure réelle des défauts, d’autres équipements d’inspection se contentant de mesures indirectes, par lumière diffractée, pour calculer la taille approximative des défauts. Le système peut traiter les substrats d’une taille maximale de 300 mm. Sa capacité est supérieure à 85 plaques par heure pour les substrats de 200 mm et à 80 plaques par heure pour les substrats de 300 mm.
Plusieurs systèmes beta ont d’ores et déjà été installés chez plusieurs clients et se révèlent particulièrement performants. Les premières unités de production devraient être disponibles en avril 2015. Altatech exposera du 3 au 5 décembre à SEMICON Japan de Tokyo, au stand 3423, hall 3 son nouveau système et la gamme complète des produits d’inspection et de métrologie avancées d’Altatech.
